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无论是在电子工业、机械工程还是生物方面，微型化要求对外形尺寸精确化。传统的精确微型测量方法是用压电传动机构驱动被测工件通过测量探针。探针的工作方式与坐标测量仪相同：接触时发出信号，然后从压电驱动器中读取被测工件的位置。不同点获取的读数决定工件的大小。
直流电动机和压电电动机在精确定位中的应用
【摘 要】
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无论是在电子工业、机械工程还是生物方面，微型化要求对外形尺寸精确化。传统的精确微型测量方法是用压电传动机构驱动被测工件通过测量探针。探针的工作方式与坐标测量仪相同
【出 处】
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微特电机
【发表日期】
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2010年6期
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