Fabrication of ZnO films by radio frequency magnetron sputtering and annealing

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qiuzy

【摘要】

：

ZnO thin films were deposited on Si(111) substrates through a radio frequency (rf) magnetron sputtering system.Then the samples were annealed at different tempe

【作者】

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GAO Haiyong ZHUANG Huizhao XUE

【机构】

：

InstituteofSemiconductor

【出处】

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稀有金属：英文版

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

氧化锌薄膜磁电管退火处理金属处理 ZnO films radio frequency magnetron sputtering annealing am

【基金项目】

：

Key Research Program of National Natural Science Foundation of China

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ZnO thin films were deposited on Si(111) substrates through a radio frequency (rf) magnetron sputtering system.Then the samples were annealed at different temperatures in air ambience and ammonia ambience respectively. The structure and composition of the

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