【摘 要】
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以工业纯铁表面形成Fe-11W-7Mo-23Co型合金为例,阐述了双层辉光离子多元共渗的源极成分设计思路。通过对工业纯铁表面进行W、Mo、Co多元共渗,探讨了合金元素溅射产额的不同对
【机 构】
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广东工业大学材料与能源学院,太原理工大学表面工程研究所,
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以工业纯铁表面形成Fe-11W-7Mo-23Co型合金为例,阐述了双层辉光离子多元共渗的源极成分设计思路。通过对工业纯铁表面进行W、Mo、Co多元共渗,探讨了合金元素溅射产额的不同对源极溅射成分的影响。结果表明,双层辉光离子多元共渗时,源极成分设计可以忽略合金元素溅射产额的影响。
Taking the Fe-11W-7Mo-23Co-type alloy formed on the surface of industrial pure iron as an example, the design idea of the source component of double glow ion multivariate permeation is described. The effects of different elemental sputtering yield on the source sputtering composition were investigated by W, Mo, Co multiple permeation on the surface of industrial pure iron. The results show that when the double glow ion multivariate co-infiltration, the source component design can ignore the impact of alloying element sputtering yield.
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