硅片直接键合的微观动力学研究

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:feixiang20090911
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
基于直接键合硅片表面能与退火温度的关系曲线,定量讨论了键合时键合界面上的微观动力学变化过程。首次提出五阶段键合模型计算值与实测表面能曲线相一致,初步确定了键合过程中界面发生的微观反应机理。
其他文献
对微波肖特基中、低势垒二极管硅化物的工艺技术进行了研究。用Ni-Si硅化物作中势垒硅化物,用Ti-Si硅化物作低势垒硅化物。通过设计和工艺实验,得到温度、时间、真空度等取佳工艺技术条件
本文总结了短期产量和成本两组函数之间,以及长期成本和短期成本两组函数之间的对偶关系;建立两组长期产量函数,并分析两组函数之间、各变化规律之间的内在联系和对偶关系,以
业务扩充简称业扩,是供电企业向脂电客户销售电力商品的受理环节,也是供用电合同关系形成的桥梁和纽带。对供电企业而言。业扩工作关系到能否尽早形成新的售电增艮点,能否更好地
日前.为了提高一线工人的农业技术综合素质,一二三团举办了“三冬”农业、农机技术培训研讨班,来自全团34个农业单位的农机站长、农业技术员、一线职工们,集聚一堂,就一年来在春播
一年365天,消费者却只有一个3·15,换句话说,商家有364个强权日,强势的商家在商海中学会了危机公关,变被动为主动的高招,借3·15而对消费者“很傻很天真”一把,消费者的节日
2012年8月1日18时30分至19时许.江苏省扬州市西区文汇苑C区南侧和站南路蒋王境内黄泥沟段相继发生两起火灾,险些烧到路边的供电线路和设备。
“这里的山路十八弯,这里的水路九连环,我为乡亲送光明,再苦再累心里甜……”这首改编的山歌.是河南省新安县曹村供电所农电工李万子日常工作的真实写照。25年来.他每天穿梭在大山
1.目前,有些农用运输车和轮式拖拉机没有安装差速锁。当这种类型的机车单侧驱动轮打滑时,可拧动打滑侧制动凸轮上的调整螺母,将该侧驱动轮的制动间隙调小或调死,然后稳住转向盘,缓
连续踩制动踏板,若踏板能逐渐升起,再继续往下踩时感到有弹性,则为制动系内有空气,应进行排除;若连续踩制动踏板,踏板升高,但继续往下踩时,有踏板下沉之感,这表明管道、接头
为深入了解甘肃文县农机化发展状况,制定切实有效措施,解决农机化发展中存在的一些突出问题,更好地发挥农机在提高农业综合生产能力中的作业,笔者针对实际情况进行了分析。现将有