PZT铁电体中烧绿石相向钙钛矿相转变研究

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本文对不同衬底材料上PZT铁电体材料钙钛矿相的形成,及其相变温度与结构的关系进行了研究。结果表明:PZT膜的相变结构除受衬底影响外,在由非晶相或烧石相同铁电钙钛矿相的转化过程中温度对相变的影响尤为显著。
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