氮化硅反应烧结的研究进展

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氮化硅作为高温功能陶瓷性能优越,但将其制备成陶瓷零件比较困难,目前一般用反应烧结法制备氮化硅陶瓷零件。此外,反应烧结制备氮化硅陶瓷还具有成本低、烧结温度低、产品成型好、陶瓷高温性能好等优点。综述了氮化硅陶瓷反应烧结工艺流程和工艺的优缺点,着重介绍了氮化硅反应烧结在成型工艺、烧结工艺、原材料影响、后处理和陶瓷增韧等方面所取得的进展。
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