Probe and Emission Spectrometry Diagnostics in Hollow Cathode Magnetron

来源 :现代物理(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaoya2001

【摘要】

：

This paper deals with the characterization of an ionized physical vapor deposition (IPVD) by means of hollow cathode magnetron. Langmuir probe, optical emission

【作者】

：

N. P. Poluektov Yu P. Tsar’gor

【机构】

：

DepartmentofPhysics

【出处】

：

现代物理(英文)

【发表日期】

：

2012年10期

【关键词】

：

HOLLOW CATHODE MAGNETRON Ionized Physical Vapor DEPOSITION Hollow Cathode Magnet

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This paper deals with the characterization of an ionized physical vapor deposition (IPVD) by means of hollow cathode magnetron. Langmuir probe, optical emission spectroscopy measurements were used to study a mechanism for the production of excited argon a

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