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介绍了用于平面及角度定位的四象限光电传感器,分析了其工作原理.利用该传感器构造了光刻机掩模板的平面定位系统.
平面四象限光电定位传感器
【摘 要】
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介绍了用于平面及角度定位的四象限光电传感器,分析了其工作原理.利用该传感器构造了光刻机掩模板的平面定位系统.
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2004年2期
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