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期刊论文
平面四象限光电定位传感器
平面四象限光电定位传感器
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jack0418
【摘 要】
:
介绍了用于平面及角度定位的四象限光电传感器,分析了其工作原理.利用该传感器构造了光刻机掩模板的平面定位系统.
【作 者】
:
蔡颖岚
【机 构】
:
重庆光电技术研究所
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2004年2期
【关键词】
:
定位传感器
基准位
屏蔽面
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介绍了用于平面及角度定位的四象限光电传感器,分析了其工作原理.利用该传感器构造了光刻机掩模板的平面定位系统.
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