氧化铍陶瓷在微电子学中的应用

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本文论述了氧化铍陶瓷在微电子学中的应用。论题包括:材料性质、规格标准、成型方法、安全防护、应用及工艺进展。 This article discusses the application of beryllium oxide ceramics in microelectronics. Topics include: material properties, specifications, molding methods, safety, application and process.
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