【摘 要】
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挠性摆式微小加速度计在导航系统中有广阔的应用前景,其非线性误差主要由力矩器标度因数的非线性所造成,其中力矩器磁场对其有重要影响。利用ANSYS Maxwell对力矩器磁场分布
【机 构】
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大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室',辽宁大连116024,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
【基金项目】
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＂高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项“高精度惯性器件微制造装备”课题项目（2013ZX04001091）
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挠性摆式微小加速度计在导航系统中有广阔的应用前景,其非线性误差主要由力矩器标度因数的非线性所造成,其中力矩器磁场对其有重要影响。利用ANSYS Maxwell对力矩器磁场分布的均匀性进行了仿真,分析了力矩器加工和装配产生的偏差对于磁场均匀性的影响规律。结果表明,力矩器组件磁钢和上导磁帽对磁场影响较大。保证磁钢厚度加工偏差在±10 μm以内,相对标准偏差CV值的相对误差小于5.4%。控制上导磁帽高度的加工偏差在±6 μm以内,CV值的相对误差可小于4.4%。力矩器装配的同轴度偏差对于磁场
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