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溅射气体流量比对磷掺杂ZnO光学性质的影响
溅射气体流量比对磷掺杂ZnO光学性质的影响
来源 :吉林化工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lhbss230
【摘 要】
:
采用磁控溅射方法在石英衬底上制备ZnO薄膜,利用XRD对薄膜结构进行表征,发光光谱和透射吸收光谱表征薄膜的光学性质,讨论了溅射气体流量比对薄膜光学性质的影响.结果表明,当A
【作 者】
:
解玉鹏
王显德
【机 构】
:
吉林化工学院理学院
【出 处】
:
吉林化工学院学报
【发表日期】
:
2019年1期
【关键词】
:
磁控溅射
ZNO薄膜
P型
光学性质
magnetron sputtering
zno film
p type
optical properties
【基金项目】
:
吉林化工学院校级项目(2015053),吉林化工学院校级博士启动项目(2015129),吉林化工学院重大科技项目(2015011).
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采用磁控溅射方法在石英衬底上制备ZnO薄膜,利用XRD对薄膜结构进行表征,发光光谱和透射吸收光谱表征薄膜的光学性质,讨论了溅射气体流量比对薄膜光学性质的影响.结果表明,当Ar/O2为1/0.05时,观察到明显的紫外发光,带隙宽度为3.310 e V.
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