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利用机械-化学方法同时实现硅表面的图形化和功能化．在芳香烃重氮盐（C6H5N2BF4）中用金刚石刀具刻划单晶硅（100），使单晶砗表面的Si-O键断裂，形成硅的自由基，进而它们与溶液中含有的有机分子共价结合以形成自组装单层膜．用原子力显微镜对自组装前后的表面形貌进行表征，用飞行时间二次离子质谱和红外光谱对自组装单层膜进行检测和分析，通过确认C6H5离子的存在证明自组装单层膜是通过Si—C共价键连接于硅表面的．并用原子力显微镜力曲线测量自组装单层膜的粘附力，发现单晶硅表面的粘附力降低了．