【摘 要】
：
制造 I,LSI 等的半导体器件的微细加工技术是通过照相蚀刻法实现的,即采用紫外曝光和以光刻胶为掩蔽进行蚀刻的。为了制作集成度极高的超 LSI,所以必须提高微细加工的精密度
论文部分内容阅读
制造 I,LSI 等的半导体器件的微细加工技术是通过照相蚀刻法实现的,即采用紫外曝光和以光刻胶为掩蔽进行蚀刻的。为了制作集成度极高的超 LSI,所以必须提高微细加工的精密度。作为超微细加工的可能方法曾研究了电子束,X 射线和短波长紫外线的光刻法。
The microfabrication technique for fabricating semiconductor devices such as I and LSI is achieved by photolithography using UV exposure and etching with a photoresist as a mask. In order to make extremely integrated ultra LSI, it is necessary to improve the precision of micro-machining. As a possible method of ultrafine processing, photolithography of electron beams, X-rays and short-wavelength ultraviolet rays has been studied.
其他文献
海涂是江苏重要的后备土地资源,开发海涂对发展苏北经济有重要的作用。为了合理、充分、有效地开发海涂,江苏省科委在射阳县中路港垦区建立了海涂土地资源农业综合治理与开
1953年3月底復旦大學物理系成立一個X光管研製實驗室,接受了輕工業部上海精密醫療器械廠的委託,繼續前在交通大學、清華大學兩校開始而未完成的研製工作,並由政府調來原在該
踢f目M.n从 3000M.nn 3600M‘no3600F电子掩模公司 250CC4X46X66X6SXIOT,一Ks:同}卯{上鑫黛〕--一{兰{一翌竺一一 4X4 1 4x4}4x4(卜./mm)士O。5土2/10士!/60土0。25士0.25士0
1.序言从1960年开始的逻辑电路集成化,到1971年 Intel 公司研制成最早的微处理机MCS-4,仅仅十年时间内,半导体技术在大规模集成电路化方面已取得了显著进步。所谓半导体技术
土壤钛含量差异较大,但一般都在0.5％左右,土壤中的钛溶解度很低,不易被植物吸收,但植物体内仍含有微量的钛。大多数禾谷类作物含钛1～2微克/克,玉米及豆科作物高达20～27微克/克。
臧堃堂教授,生于1935年,江苏无锡人。原解放军第一军医大学专家组成员、主任医师,博士研究生导师,第二批全国名老中医师承制导师,第三届中国中医药学会理事,解放军中医学会中
令人伤感的抹香鲸救援 3月12日，我们看到一个暖心的画面：广东深圳海域，一头抹香鲸被渔网缠绕。潜水俱乐部3名教练赶往鲸鱼被困海域，下水展开救援，被解救后的鲸鱼喷水表示感谢，迟迟不愿离去。 获救后的抹香鲸却迟迟找不到“回家”路。之后的一天，抹香鲸游到大鹏廖哥角附近，水深只有2米左右；3月14日，包括香港海洋公园和中国渔政的有关专家赶赴现场进行救援，无奈在3月15日，这头抹香鲸被确认死亡。 令人
一个弃婴最初的人生经历 １９９４年 ５月的一天，上海市宝山区一户人家早上开门，发现门口有一个婴儿。按照婴儿身边纸条的要求，这户人家把这个婴儿交给了政府，希望能够“救她一命”。经检查
Galling is one of the most familiar failure forms for tubing and casing connections. It has been regarded as a key problem by metallurgy and petroleum systems a
目的考察微针对熊果苷皮肤给药的促渗作用,并与化学促渗剂氮酮进行比较。方法采用深反应离子刻蚀技术制备星形硅微针。制备熊果苷水凝胶剂,采用Franz扩散池法,将人体腹部皮肤