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在铜系复合催化剂存在下,采用乙醇与硅直接反应,得到以三乙氧基硅烷为主的反应液;将反应液进行减压蒸馏,收集25-45℃/2-5 k Pa下的馏分,产品纯度达到98%,总收率达80%。研究了硅粉活化时间及粒径、催化剂种类、溶剂种类对硅粉转化率和三乙氧基硅烷选择性的影响。结果表明,最佳工艺条件为：溶剂选择聚乙氧基硅烷（聚合度3-5）,催化剂为无水氯化亚铜和双二乙基磷酸铜质量比1∶1的混合物,硅粉不经活化直接使用且粒径选择300-500目。