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为何需要RTP
为何需要RTP
来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ji7zai
【摘 要】
:
当前,快速热处理(RTP)已成为许多先进的CMOS器件制造技术中必不可少的工艺技术。
【作 者】
:
Peter.
L
张义强
【出 处】
:
微电子技术
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
快速热处理
RTP
CMOS器件
制造
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当前,快速热处理(RTP)已成为许多先进的CMOS器件制造技术中必不可少的工艺技术。
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