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当前，快速热处理（ＲＴＰ）已成为许多先进的ＣＭＯＳ器件制造技术中必不可少的工艺技术。
为何需要RTP
【摘 要】
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当前，快速热处理（ＲＴＰ）已成为许多先进的ＣＭＯＳ器件制造技术中必不可少的工艺技术。
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年6期
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