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Herbert S．Bennett是美国国家标准与技术研究所（NIST）的院士和执行顾问。在众多业界同事的帮助下，他在对ITRS 2005进行分析的基础上总结了半导体产业测量技术的现状。在这些只代表他个人而不一定代表NIST的观点中．Benntt广泛讨论了半导体存储器，微处理器、信号处理器、RF与模拟／混合信号电路．逻辑器件和新兴器件与材料等各个领域。虽然Benntt只是对美国测量系统（USMS）进行了简要的描述，但他也注意到了半导体产业的下列发展趋势：