InP和GaAs中的Mg^＋离子注入

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sunjf2008

【摘要】

：

本文研究了Mg~+离子注入InP和GaAs中的电学性能和辐射损伤行为.范德堡霍尔方法测量和电化学C-V测量均表明,快速热退火方法优于常规热退火方法,共P~+注入结合快速热退火方法能

【作者】

：

沈鸿烈杨根庆

【机构】

：

IonBeamLaboratory

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1992年8期

【关键词】

：

INP GAAS 镁离子注入辐射损伤 Annealing Ion implantation Ions Magnesium Semiconducting ga

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文研究了Mg~+离子注入InP和GaAs中的电学性能和辐射损伤行为.范德堡霍尔方法测量和电化学C-V测量均表明,快速热退火方法优于常规热退火方法,共P~+注入结合快速热退火方法能进一步减小注入Mg杂质的再分布,使电激活率大大提高。卢瑟福沟道分析则表明,相同注入条件下,InP中的辐射损伤较GaAs中大得多,大剂量注入损伤经热退火难于完全消除.

其他文献

福获连拱隧道设计

根据某隧道工程概况，就隧道支护衬砌结构设计、洞口及洞门方案设计、防排水设计、路面结构方案设计及装饰方案设计作了论述，并对一些辅助施工措施作了介绍，以期为同类隧道设计积

期刊

连拱隧道衬砌结构设计防排水设计围岩multi-arch tunnel lining structure design waterproof and

开启教育之门的金钥匙——教育科研

加强教育科研是推动教育改革与发展的需要。作为教育工作者，不仅应掌握教育规律和教育教学技巧，还应通过教育科研实践，不断取得新知识、探索新领域，在教育科研实践中不断提高自身

期刊

专业发展教育科研校家合作

GaAs／GaAlAs量子限制stark效应及自电光双稳现象的实验研究

我们研制了GaAs/GaAlAs多量子阱pin结构的SEED器件。分析了器件的光电流光谱、光电流-电压特性。对于如何实现器件光学双稳态工作的有关问题进行了讨论。

期刊

自电光效应多量子阱器件光双稳Optical BistabilityMQW deviceSelf Electro-optic Effect

用MBE在非平面衬底上生长的掩埋脊形多量子线列阵

本文在国际上首次报道,在用常规光刻技术和化学腐蚀技术制备的非平面GaAs衬底上,利用一次分子束外延技术研制成功掩埋脊形GaAs/Al_(0.3)Ga_(0.7)As多量子线列阵结构。电镜及

期刊

量子线阵列分子束外延量子器件

lnP单晶特性的低温光伏研究

本文应用等光强方法,在0.75μm至带边的波段内对无掺杂的n型InP单晶(n_0=2×10~(16)cm~(-3))分别测量了298K、77.4K、50K、20K、13.7K下的光伏谱。在微机上完成拟合计算,

期刊

INP单晶低温光伏谱半导体材料InP single crystalPhotovoltaie spectra at Low temperatures

90后大学生社会主义核心价值体系教育的现状分析及对策研究

党的十七届六中全会指出,社会主义核心价值体系是兴国之魂,决定着中国特色社会主义发展方向。当前,大学生价值观日趋多样化,加强大学生社会主义核心价值体系教育,对推进中国

期刊

社会主义核心价值体系90后大学生校园文化社会实践

热解CVD方法制备氧化铍薄膜的研究

本文用碱式甲酸铍为源,在源区温度250—330℃,沉积区温度440—650℃的条件下,利用热解CVD方法制得了BeO薄膜,并对BeO 薄膜的物理和化学性能做了测量和试验.更多还原

期刊

氧化铍薄膜热解CVD

对马克思主义法学中国化的几点思考

马克思主义法学中国化是当代中国法学研究的历史使命和中国法治建设的指导，与其相关的概念与命题不尽相同，还有反对用此命题的说法，因此对其含义与现状进行反思尤为必要，而从中国

期刊

马克思主义法学中国化含义现状路径

对氢化非晶硅薄膜Raman谱TA模的观测

对a-Si:H及μC-Si:H膜的Raman散射谱的观测中,出现了类TA 模强度高于类TO模的情况.在非晶硅薄膜晶化过程中,类TA模同样呈现出规则性的变化,并可同C-Si一级声子谱的TA模精细结

期刊

氢化非晶硅薄膜RAMAN谱TA膜

CFRP层合板抗分层损伤技术研究进展

碳纤维/聚合物基复合材料（CFRP）具有高比强度、高比模量、性能可设计、结构尺寸稳定性高、耐疲劳、耐腐蚀等优点而被广泛应用于陆、海、空、天等高性能载具中。各类碳纤维复合

期刊

层合板分层损伤层间增韧碳纳米管laminate delamination interlaminar toughening carbon nanot

InP和GaAs中的Mg^＋离子注入

与本文相关的学术论文