【摘 要】
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采用反应磁控溅射的方法,利用Zr靶与Ti-Si复合靶成功制备了不同TiSiN 层厚度的ZrN/Ti-SiN 纳米多层膜.利用X 射线衍射（XRD）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）、扫描电子显微镜（SEM）和
【机 构】
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上海理工大学机械工程学院,上海理工大学材料科学与工程学院,中科院特种无机涂层重点实验室
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采用反应磁控溅射的方法,利用Zr靶与Ti-Si复合靶成功制备了不同TiSiN 层厚度的ZrN/Ti-SiN 纳米多层膜.利用X 射线衍射（XRD）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）、扫描电子显微镜（SEM）和纳米压痕仪研究了不同TiSiN 层厚度对ZrN/TiSiN纳米多层膜的微观结构和力学性能的影响.结果表明,ZrN/TiSiN 纳米多层膜主要由面心立方的ZrN 相组成,随着TiSiN 层厚度的增加,纳米多层膜的结晶程度先增加后降低,其硬度和弹性模量也先升高后降低.当TiSiN 层厚度为0.7nm 时
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