【摘 要】
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据《半导体世界》（日）1994年第8期报道，由IEEE的电子器件学会、SEMI、UCS（半导体基础技术研究会）主持召开的ISSM’94（InternationalSymPosiumonSemicon－ductorManufacturing：半导体制
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据《半导体世界》（日）1994年第8期报道，由IEEE的电子器件学会、SEMI、UCS（半导体基础技术研究会）主持召开的ISSM’94（InternationalSymPosiumonSemicon－ductorManufacturing：半导体制造国际会议）于1994年6月在日本东京都千代田区举行，会议总共发表36篇论文，主要论述
According to the “Semiconductor World” (Japan) No. 8, 1994 reported by the IEEE Institute of Electronic Devices, SEMI, UCS (Semiconductor Basic Technology Research Conference) hosted the ISSM’94 (International Symposium on Semiconductor Manufacturing International Conference) in 1994 June in Tokyo, Japan, Chiyoda, held a total of 36 papers, the main discussion
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