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讨论了将线形聚焦光斑看作是点溅射的线性迭加时,对衬底平面上溅射产物角分布影响的推导,推导结果间接证明了溅射产物中粒子之间有更强烈的相互作用.
激光聚焦光斑形状对溅射产物角分布的影响
【摘 要】
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讨论了将线形聚焦光斑看作是点溅射的线性迭加时,对衬底平面上溅射产物角分布影响的推导,推导结果间接证明了溅射产物中粒子之间有更强烈的相互作用.
【机 构】
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渭南师范学院物理系
【出 处】
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渭南师范学院学报
【发表日期】
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2003年5期
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