硅MEMS振荡器有望替代石英晶体

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石英具有非凡的机械和压电特性,长期以来一直作为基本的时钟器件,在精确频率源器件中占据主导地位.然而,石英振荡器也有许多缺点,包括不能集成到硅圆晶上,缩小尺寸相应提高了成本,非工业标准的制造和封装方法,对热、冲击和振动敏感,特别是一种封装只对应一种频率.
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