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在综合比较各类光开关基础上,提出一种新的M型电热式微机电系统（MEMS）光开关结构,并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真,通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应力应变实验数据的分析,确定了光开关结构的可行性。
新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析
【摘 要】
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在综合比较各类光开关基础上,提出一种新的M型电热式微机电系统（MEMS）光开关结构,并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真,通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应
【机 构】
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贵州大学大数据与信息工程学院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2018年10期
【基金项目】
：
国家国际合作专项项目(2014DFA00670);贵州省科技重大专项项目(黔科合重字[2016]3022号)
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