【摘 要】
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本文介绍了在2—4GHz频率范围声体波延迟线的设计.该器件是在Al_2O_3单晶或LiTaO_3棒端面上溅射ZnO压电薄膜组成的一维纵向振动换能器结构.器件典型参数值为:中心频率2—3.4G
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本文介绍了在2—4GHz频率范围声体波延迟线的设计.该器件是在Al_2O_3单晶或LiTaO_3棒端面上溅射ZnO压电薄膜组成的一维纵向振动换能器结构.器件典型参数值为:中心频率2—3.4GHz;延时2—3μs,插损35—55dB;电压驻波比小于3.5,带宽10—20%.
This paper introduces the design of the acoustic wave delay line in the frequency range 2-4GHz, which is a one-dimensional longitudinal vibrating transducer structure consisting of a ZnO piezoelectric film sputtered on the surface of Al 2 O 3 single crystal or LiTaO 3 rod. The center frequency is 2-3.4GHz, the delay time is 2-3μs, the insertion loss is 35-55dB, the voltage standing wave ratio is less than 3.5 and the bandwidth is 10-20%.
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