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从分析集成电路项目的自身特点入手,提出了项目管理的要素。并以上海华力12英寸先进生产线工艺参数控制系统(Process Parameter Control System,PPCS)项目案例进行参照,为国内集成电路项目自控系统的项目管理起到借鉴作用。
集成电路工艺参数控制系统的设计与实现
【摘 要】
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从分析集成电路项目的自身特点入手,提出了项目管理的要素。并以上海华力12英寸先进生产线工艺参数控制系统(Process Parameter Control System,PPCS)项目案例进行参照,为国
【机 构】
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上海华力集成电路制造有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2019年4期
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(2015.150204).
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