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为了制备质量更高的微纳双重结构，采用激光干涉光刻技术，分别搭建三光束、四光束和六光束光路进行光干涉，对干涉结果进行图像采集的实验。采用图像处理的方法对采集的图像进行处理，提取了微纳双重结构的调制周期，并与理论周期值进行比较，验证方法的可行性，为后续提取微纳双重结构的其它特征参数奠定了基础。
激光干涉微纳双重结构调制周期的提取
【摘 要】
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为了制备质量更高的微纳双重结构，采用激光干涉光刻技术，分别搭建三光束、四光束和六光束光路进行光干涉，对干涉结果进行图像采集的实验。采用图像处理的方法对采集的图像进行处
【机 构】
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长春理工大学电子信息工程学院
【出 处】
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长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2014年1期
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