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介绍MOVPE技术的背景和理论基础,探讨MOVPE设备真空技术原理及常见故障分析方法,使工程技术人员能够深入了解控制原理,并能综合分析真空系统的各类型故障,辅助分析产品的缺陷,给MOVPE设备真空技术维修人员提供借鉴。
MOVPE设备真空技术及其故障分析
【摘 要】
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介绍MOVPE技术的背景和理论基础,探讨MOVPE设备真空技术原理及常见故障分析方法,使工程技术人员能够深入了解控制原理,并能综合分析真空系统的各类型故障,辅助分析产品的缺陷
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十八研究所化学与物理电源重点实验室
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2021年9期
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