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介质型膜密集波分复用滤光片膜厚监控的研究
介质型膜密集波分复用滤光片膜厚监控的研究
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gmzz2009
【摘 要】
:
高精度高性能的光学薄膜厚膜厚监控系统是制备密集波分复用滤光片的关键,本文提出了一种非1/4波长膜系监控膜厚的方法,该方法所采用的系统具有稳定性好、波长分辩率高等优点。
【作 者】
:
周保青
黄光周
等
【机 构】
:
华南理工大学电子与通信工程系
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
膜厚监控
密集波分复用滤光片
介质膜
Optical thickness monitor
DWDM filter
Dielectric thin film
【基金项目】
:
广东省重点科技攻关课题(2KB02402G)
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高精度高性能的光学薄膜厚膜厚监控系统是制备密集波分复用滤光片的关键,本文提出了一种非1/4波长膜系监控膜厚的方法,该方法所采用的系统具有稳定性好、波长分辩率高等优点。
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