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在实验测量的基础上，基于压电陶瓷执行器位移-电压曲线各升程之间、各回程之间的近似相似性，采用坐标变换方法，建立了压电陶瓷执行器位移-电压之间的迟滞非线性模型。该模型只用第1个升回程的实测值，便可实现对以后任意升回程各点的跟踪；其不仅适用于驱动电压为周期信号的情形，也适用于非周期信号的情形。实验研究了不同的电压驱动过程、驱动电压频率、驱动循环次数、晶片厚度对模型精度的影响。结果表明，当驱动次教不是很高时，模型相对于实测值的误差很小，为2．8％；当驱动次教很高时，模型相对于实测值的误差变大。