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密封管壳内水汽含量的非破坏性测量方法的研究
密封管壳内水汽含量的非破坏性测量方法的研究
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daTyrant
【摘 要】
:
本文介绍了采用直流表面电导技术非破坏性地测量密封管壳内水汽含量的方法、原理及其测量结果,并介绍了采用该技术对工厂密封器件的水汽含量所进行的评估.
【作 者】
:
华剑萍
贺德洪
桂力敏
【机 构】
:
华东师范大学电子系,上海贝岭微电子制造有限公司
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1990年10期
【关键词】
:
表面电导
水汽
电子器件
湿度
测量
Hermetic Package
Surface Conductance
Sensor
Dew Point
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本文介绍了采用直流表面电导技术非破坏性地测量密封管壳内水汽含量的方法、原理及其测量结果,并介绍了采用该技术对工厂密封器件的水汽含量所进行的评估.
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