【摘 要】
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我们提出了一种用于液晶盒的新取向工艺,可以得到0或非0的预倾角.这项工艺是用定向的等离子体流倾斜辐照基板.我们用一个阳极层发射器(anode lager thruster)作为等离子体辐
【机 构】
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Dept.OfCrystals,LiquidCrystalInstituteandChemicalPhysicsInterdisciplinaryProgram
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我们提出了一种用于液晶盒的新取向工艺,可以得到0或非0的预倾角.这项工艺是用定向的等离子体流倾斜辐照基板.我们用一个阳极层发射器(anode lager thruster)作为等离子体辐射源,以产生层状的等离子体流.它适合于处理大面积基板,可以处理有机(聚合物)和无机(玻璃,ITO)层.等离子体流辐照可以得到两种类型的液晶取向:(1)最可及(择优)取向轴位于离子束方向和基板法线组成的入射平面上;(2)最可及取向轴垂直于入射面.随着照射总剂量的增加,取向方向可以从类型(1)向类型(2)转变.在第一种取向模式
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