非极性GaN用r面蓝宝石衬底

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lafang123456
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采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(011^-2)面蓝宝石,使用化学机械抛光加工衬底表面,对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究.结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下:平均半峰宽值为19.4arcsec; 位错密度为5.6×10^3cm^-2,波长大于300nm时的平均透过率大于80%; 光学均匀性Δn=6.6×10^-5; 平均表面粗糙度为0.49nm.结果表明,温梯法生长的r(011^-2)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量高,达到了Ga
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