复杂结构的大容器氦质谱检漏技术

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叙述了复杂结构的大型真空容器氦质谱检漏应用技术 ,分析了其中存在的问题。提出应设置合适的检漏系统、适当降低检漏速度及对复杂部位进行局部检漏等方法 Describes the complex structure of large-scale vacuum vessel helium mass spectrometry leak detection technology, analysis of the problems. It is suggested that a proper leak detection system should be set up, the speed of leak detection should be properly reduced, and some methods such as partial leak detection of complex parts should be taken
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