【摘 要】
：
对于晶圆级封装中硅基盖帽的制备工艺,采用NaOH腐蚀体系对Si衬底进行湿法深腐蚀,研究了腐蚀液质量分数、添加剂添加量及腐蚀温度对腐蚀速率和形貌的影响.针对深腐蚀中掩膜易
【机 构】
：
云南师范大学云南省光电信息技术重点实验室,昆明,650500;云南师范大学云南省光电信息技术重点实验室,昆明 650500;昆明物理研究所,昆明 650223;昆明物理研究所,昆明,650223
论文部分内容阅读
对于晶圆级封装中硅基盖帽的制备工艺,采用NaOH腐蚀体系对Si衬底进行湿法深腐蚀,研究了腐蚀液质量分数、添加剂添加量及腐蚀温度对腐蚀速率和形貌的影响.针对深腐蚀中掩膜易脱落的缺点,提出了一种先用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积SiO2介质层,再用磁控溅射生长CrAu金属层的方法,SiO2介质层和CrAu金属层作为双层掩膜.研究结果表明:硅的腐蚀速率随温度的增加呈指数增加,在饱和NaOH溶液中腐蚀速率最快,腐蚀速率可达15 μm/min.最终腐蚀出表面平整、界面清晰的硅基盖帽,盖帽空间面积为2 cm×2 cm,深度超过100 μm,复合掩膜层没有开裂、脱落现象,具有优异的抗腐蚀性.该腐蚀工艺对红外焦平面阵列(IRFPA)探测器晶圆级封装具有重要的应用价值.
其他文献
为满足快速准确测量分子束外延(MBE)生长的GaAs表面椭圆缺陷,提出了基于表面颗粒度扫描仪(Surfscan)测量椭圆缺陷的方法.根据理论计算,将Surf scan的测试模型由球形优化为更
Two-dimensional black phosphorus (2D BP), well known as phosphorene, has triggered tremendous attention since the first discovery in 2014. The unique puckered m
In spite of the tumor microenvironments responsive can-cer therapy based on Fenton reaction (i.e., chemodynamic therapy, CDT) has been attracted more attentions
Carrier-free nanodrug with exceptionally high drug payload has attracted increasing attentions. Herein, we construct a pH/ROS cascade-responsive nanodrug which
计算机网络已经成为人类进入信息社会的一个重要标志并在深刻地改变着人们的生活方式和工作方式,研究更好的网络行为模型和控制算法、减少网络的拥塞和分组传输时延,提高网络
股民往往希望股评能为他们预测后市,推荐天天涨停的黑马股;而股评家亦乐意分析大势,评点个股,以此显示其精辟的分析能力与准确的预测水平.
上述法律法规的制定,在很大程度上限制了不具备资格的机构或者个人混入证券投资咨询其中,自封为股评家而误导股民,甚至欺骗股民.同时,也规范了证券投资咨询机构与人员的业务
Interface engineering has been widely explored to improve the electrochemical performances of composite electrodes, which governs the interface charge transfer,
以聚苯乙烯(PS)微球为目标粒子,低电导率溶液为溶剂,基于介电泳操纵PS微球,结果表明四电极结构的阵列芯片下存在两种可控定位方式.室温条件下调控交流信号的电压与频率,结果
近几年来,伴随着我国社会经济高速增长和城市现代化建设的不断深入,建筑业在市场竞争中也显得愈来愈激烈,建筑工程施工技术管理是建筑行业经常遇到同时也是一个不易解决好的