掠射式镜面莫尔轮廓法

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提出了镜面莫尔轮廓法的掠射式观察方式,推导出掠射式镜面莫尔轮廓法的条纹计算公式并用实验加以证实。利用本文提出的方法检验单晶硅片与平镜面,可以在全场获得微米级的灵敏度。依此原理设计和制造的仪器,具有结构简单、造价低廉的特点。最后提供了拍摄镜面薄片的实验照片。
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