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ZnO薄膜是一种具有广泛用途的材料,近来成为了研究的热点。高度c轴择优取向是优质ZnO薄膜的重要特点。在已开发的众多生长技术中,磁控溅射、金属有机物气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、电子束反应蒸镀法是生长出高度c轴择优取向优质薄膜的主要方法。介绍了这些方法及其研究进展,同时介绍了目前ZnO薄膜主要研究方面。