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本文分析了不同砂磨时间对ITO浆料颗粒粒度的影响,以及对靶材微观结构、相对密度、电阻率的影响。结果表明砂磨能有效地细化ITO浆料颗粒并使颗粒分布更窄,砂磨对ITO浆料颗粒的细化有利于ITO靶材在烧结中排除气孔,形成晶界,提高致密度和降低电阻率,经砂磨80min的实验组样品烧结相对密度高达99.8%,接近完全烧结。