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介绍7056窗玻璃与大面积GaAs外延片的牯接工艺,并分析了GaAs片的表面形状、氮化硅的厚度、组分及粘接前的清洁处理工艺对粘接质量的影响。着重讨论了压力、温度和加热速率三者之间内在联系及其选取范围,给出了粘接工艺的调整和控制方法。
7056玻璃与大面积GaAs外延片粘接工艺分析
【摘 要】
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介绍7056窗玻璃与大面积GaAs外延片的牯接工艺,并分析了GaAs片的表面形状、氮化硅的厚度、组分及粘接前的清洁处理工艺对粘接质量的影响。着重讨论了压力、温度和加热速率三
【机 构】
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西安应用光学研究所
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1991年5期
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