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本文基于近场扫描微波显微镜的基本原理,搭建了一套高效测量石墨烯薄膜材料电磁特性的系统。近场扫描微波显微镜是利用探针靠近样品时,记录谐振腔的品质因数或谐振频率的偏移量,然后通过软件仿真探针样品模型的方法得到样品的介电常数、电导率等物理量,以非接触的方式无损表征了石墨烯薄膜的材料特性。
近场微波显微镜对石墨烯的无损检测研究
【摘 要】
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本文基于近场扫描微波显微镜的基本原理,搭建了一套高效测量石墨烯薄膜材料电磁特性的系统。近场扫描微波显微镜是利用探针靠近样品时,记录谐振腔的品质因数或谐振频率的偏移
【机 构】
：
电子科技大学物理电子学院
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
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2018年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金（61301053和61601101）, 中央高校基本科研业务费ZYGX2016J060和ZYGX2016KYQD097
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