一种解耦硅MEMS陀螺结构优化及性能仿真

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以高机械灵敏度为设计目标, 对一种解耦硅MEMS陀螺进行了结构优化, 并利用有限元分析软件ANSYS对该MEMS陀螺进行了模态、应力、位移、抗过载及谐响应仿真分析, 确定并验证了高灵敏度MEMS陀螺的结构优化原则。优化后的硅MEMS陀螺驱动和检测模态谐振频率分别为3700与3718Hz, 机械灵敏度可达0.95nm/(°/s), 能够承受500g的冲击载荷, 并且能够实现驱动模态和检测模态解耦。
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