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采用加热法在类金刚石薄膜表面制备1-十八烯自组装有机单分子薄膜，采用接触角测量仪及傅立叶变换红外光谱仪表征薄膜的结构，在原子力显微镜及UMT-2MT型摩擦磨损试验机上从微观和宏观2个角度考察了薄膜的摩擦性能．结果表明，经过十八烯修饰后，DLC薄膜表面疏水性能提高，摩擦系数明显降低，有利于DLC薄膜在微机电系统中的应用。