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为了检测硬盘盘片表面疵病的大小是否符合标准,设计了一种检测装置。采用光的散射理论,结合硬盘盘片表面疵病的粗糙度等级和实验结果,利用光照射到粗糙表面时发生的散射现象、散射光的特性以及散射模型建立的理论基础,对4种散射模型进行了分析和比较。并以混合型散射模型为基础,利用光学设计软件完成了该检测装置的光学系统设计。结果表明,混合型散射模型的散射角最大、散射能量密度最大,最适合用于反映硬盘盘片表面疵病造成的散射现象。