【摘 要】
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设计了一种聚焦离子束系统用液态金属离子源（Liquid Metal lon Source-LMIS）,本文对该源组件结构的设计、发射针尖的腐蚀工艺、挂金属镓工艺、测试系统的设计作了介绍;然后对该
【机 构】
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北京物资学院,中国科学院电工研究所
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设计了一种聚焦离子束系统用液态金属离子源（Liquid Metal lon Source-LMIS）,本文对该源组件结构的设计、发射针尖的腐蚀工艺、挂金属镓工艺、测试系统的设计作了介绍;然后对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试。实验结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子束系统的要求,并对影响源性能的因素进行了分析,从而为合理有效地设计液态金属离子源提供启示。
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