【摘 要】
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创新性提出低温退火下异质结(SHJ)太阳电池的叠层减反射结构.采用等离子体增强化学气相沉积技术在沉积金属电极后的SHJ太阳电池入光面依次沉积SiNx和SiOx薄膜,形成SiOx/SiNx/
【机 构】
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上海大学理学院,上海200444;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海201800;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,201800;上海大学理学院,上海,200444
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创新性提出低温退火下异质结(SHJ)太阳电池的叠层减反射结构.采用等离子体增强化学气相沉积技术在沉积金属电极后的SHJ太阳电池入光面依次沉积SiNx和SiOx薄膜,形成SiOx/SiNx/IWO三层减反射膜,则电极部分为SiOx/SiNx/Ag/IWO的叠层结构,经低温退火银浆穿透表面介电薄膜形成导电通路.结果 表明,SiOx/SiNx/IWO叠层具有优异的光学透过性,并显著降低电池表面反射损失.与单层IWO薄膜相比,厚度分别为90、30、60 nm的SiOx/SiNx/IWO的三层减反射膜使平均反射率下降至5.9％,对应波段外量子效率显著提高,SHJ电池短路电流密度和转换效率分别提高1.22 mA/cm2和0.96％,具有巨大的应用潜力.
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