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结合等离子金属光栅原理和多层膜理论，提出－种金属－介质－金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分（FDTD）法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真，得到多层结构的聚焦特性随金属－介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结果表明，通过控制金属一介质层层数或者凹槽数目，焦距明显改善，焦距可达9．15μm，最大焦深约为26．38μm，相对于传统金属光栅，聚焦效应得到了明显增强。