【摘 要】
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针对集成电路工艺实验教学中存在的大型设备短缺、场地经费受限、实验条件苛刻等问题,提出了搭建具备选课、资源库、答疑室和教学评价等功能的开放式教学管理信息化平台。阐述了集成电路光刻工艺在虚拟仿真技术中的典型应用,充分发挥了虚拟仿真实验的生动、直观、安全等优点,激发了学生学习的积极性和主动性,培养了学生的创新精神和工程实践能力,满足了新工科背景下的金课建设需求。
【机 构】
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天津大学微电子学院,天津大学天津市成像与感知微电子技术重点实验室
【基金项目】
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教育部产学合作协同育人项目(项目编号:201801142008),天津市虚拟仿真实验教学建设项目(项目编号:201977),天津大学示范性虚拟仿真实验教学项目(项目编号:TJUXF20180205)。
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针对集成电路工艺实验教学中存在的大型设备短缺、场地经费受限、实验条件苛刻等问题,提出了搭建具备选课、资源库、答疑室和教学评价等功能的开放式教学管理信息化平台。阐述了集成电路光刻工艺在虚拟仿真技术中的典型应用,充分发挥了虚拟仿真实验的生动、直观、安全等优点,激发了学生学习的积极性和主动性,培养了学生的创新精神和工程实践能力,满足了新工科背景下的金课建设需求。
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