高纯氧化铝陶瓷材料真空出气性能测试

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通过一系列实验测试了致密型高纯氧化铝陶瓷 (99瓷 )的出气速率 ,考察了材质、不同预处理方法等因素对其出气性能的影响 ,并分析了不同温度下出气的主要成分及分压强 A series of experiments were carried out to test the gas evacuation rate of dense high purity alumina ceramic (99 porcelain). The effect of material and different pretreatment methods on the gas evacuation performance was investigated. The main components and gas distribution of gas evolved at different temperatures pressure
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