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叙述了在硅双极型超高速工艺中研究使用的多晶硅超自对准技术通过对器件结构的比较，工艺特点的分析，进行了改善关键技术的探讨，并在我们现有基础条件下，开展了用ＳＳＴ研制晶体管的实验。
多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究
【摘 要】
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叙述了在硅双极型超高速工艺中研究使用的多晶硅超自对准技术通过对器件结构的比较，工艺特点的分析，进行了改善关键技术的探讨，并在我们现有基础条件下，开展了用ＳＳＴ研制晶体管的实验
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所微电子学分部
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1996年3期
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