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基于基尔霍夫标量衍射理论，详细分析了输入、输出平面及变换函数抽样间距的选取原则。系统建立了衍射光学器件精细化设计的抽样理论，深入研究了输出图样在非抽样点上的光强失真机理。在定义衍射光学器件光能利用率、顶部不均匀性等性能评价参数的基础上，以盖师贝格-撒克斯通（GS）算法设计一维光束整形器件为例，探讨了输出图样在非抽样点上的光强失真和输出平面抽样间距间的关系，通过模拟计算验证了精细化设计时输入与输出平面抽样理论的有效性。