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Si^+/B^+双注入单晶硅的快速热退火
Si^+/B^+双注入单晶硅的快速热退火
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:focus2316a
【摘 要】
:
用四探针法,扩展电阻法,背散射沟道谱和二次离子质谱等测试分析手段研究了Si^+/B^+双注入单晶硅的快速热退火行为。
【作 者】
:
周继承
【机 构】
:
长沙铁道学院材料研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
快速热退火
双离子注入
Si^+
B^+
单晶硅
RTADualImplantSi~+PreamorphizationThinP~+LayersCharact
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用四探针法,扩展电阻法,背散射沟道谱和二次离子质谱等测试分析手段研究了Si^+/B^+双注入单晶硅的快速热退火行为。
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