Er,O离子共注入GaAs的二次离子质谱的研究

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：angie133

【摘要】

：

在Ⅲ－Ⅴ族半导体ＧａＡｓ外延层上共注入Ｅｒ和Ｏ离子经面对面优化退火后，光致发光谱中观测到对应Ｅｒ＾３＋第一激发态到基态，＾４Ｉ１３／２－＾４Ｉ１５／２跃迁，其相对强度较单注入Ｅｒ的ＧａＡｓ增强１０倍，且谱线变窄。从二次离子质谱和卢瑟福背散射

【作者】

：

陈辰嘉周必忠

【机构】

：

北京大学物理系,厦门大学物理系

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

1997年6期

【关键词】

：

饵氧离子共注入二次离子质谱砷化镓发光学 Er O ions coimplanted secondary ion mass spectrometry

【基金项目】

：

国家自然科学基金,北京大学稀土材料化学应用国家重点实验室基金

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在Ⅲ－Ⅴ族半导体ＧａＡｓ外延层上共注入Ｅｒ和Ｏ离子经面对面优化退火后，光致发光谱中观测到对应Ｅｒ＾３＋第一激发态到基态，＾４Ｉ１３／２－＾４Ｉ１５／２跃迁，其相对强度较单注入Ｅｒ的ＧａＡｓ增强１０倍，且谱线变窄。从二次离子质谱和卢瑟福背散射实验退出退火前后的Ｅｒ在ＧａＡｓ；Ｅｒdisplay status

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